維修美國VIEW 全自動影像儀
MicroLine-300是一款桌上型半自動CD測量系統。
主要技術參數:
◆    測量范圍(XYZ):標準:200×200×25mm;可選:300x300x25
◆    視場內測量精度:10nm(100X 鏡頭);Z軸聚焦范圍:25 mm
◆    視場內測量范圍:0.5um~400um;
◆    視場內測量重復性(100x 物鏡):  晶圓上<0.010um(1δ);
                                                    掩模板上0.005um(1δ);   
◆    承重:2kg
◆    標配鏡頭10x,可選鏡頭:5X, 20X, 50X, 100X 
MicroLine 系列 主要用于測量半導體、MEMS 晶圓、光刻掩模板等尺寸和涂覆物(多層套刻、圓、對接誤差等)量測。
MicroLine 臨界尺寸測量系統設計應用于半導體和MEMS晶圓以及光掩模CD量測。Microline 系列可自動測量線寬,迭置重合,和其他關鍵尺寸。
MicroLine 裝備有高性能光學顯微鏡,高精度運動平臺,可測量0.5 微米到400 微米大小的產品,測量精度和重復性在10nm (1  σ ,100倍物鏡)。
 
				
			
			
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